德國(guó)PI PHYSIK INSTRUMENTE 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái)

德國(guó)PI PHYSIK INSTRUMENTE 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 線(xiàn)性平臺(tái) Q-521.340

一、Q-521.340線(xiàn)性平臺(tái)產(chǎn)品特點(diǎn)：

21毫米寬度，10毫米高度，1納米編碼器分辨率，2納米線(xiàn)性平臺(tái)位移

二、Q-521.340線(xiàn)性平臺(tái)產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：

Q-521.340線(xiàn)性平臺(tái)主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)?/span>光學(xué)對(duì)準(zhǔn)，顯微鏡，半導(dǎo)體技術(shù)。

三、Q-521.340線(xiàn)性平臺(tái)產(chǎn)品參數(shù)：

行程參數(shù)：

主動(dòng)軸：X

行程：32毫米

精度參數(shù)：

速度，閉環(huán)：6毫米/秒

位移：2納米

俯仰角：300微弧度

偏轉(zhuǎn)角：400微弧度

線(xiàn)性度：3.5微米

集成傳感器：線(xiàn)性編碼器

傳感器分辨率：1納米

參考點(diǎn)開(kāi)關(guān)：光學(xué)

雙向重復(fù)精度：80納米

負(fù)載參數(shù)：

負(fù)載能力，水平方向：0.3千克

負(fù)載能力，任意方向：0.06千克

導(dǎo)向類(lèi)型：交叉滾柱軸承

驅(qū)動(dòng)力：0.6牛

保持力：1.3牛

其他參數(shù)：

電機(jī)類(lèi)型：壓電慣性驅(qū)動(dòng)器

工作溫度：0到40攝氏度

電纜長(zhǎng)度：1米

電機(jī)/傳感器連接器：D-sub15針（公頭）

不含電纜和連接器的質(zhì)量：48克

質(zhì)量（包含電纜和連接器）：135克

材料：不銹鋼

尺寸：42.2 毫米×21 毫米×10毫米

德國(guó)PI PHYSIK INSTRUMENTE 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 線(xiàn)性平臺(tái) Q-521.340